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对于真空烧结炉故障问题的讲解!
不管是什么机器设备只要运用时间久了多多少少都会出现一些问题,接下来,烧结炉小编就来说说对于真空烧结炉故障问题的讲解!
真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。
一、冷却水异常
1、确认加热电源已停止。
2、炉外发生漏水,冷却水量异常时,应尽快采取应急措施,如能保证水量,请继续保持真空,如不能采取应急措施,保持原状,确认设备冷却下来。
3、冷却水发生异常时,设备处于停止状态,马上接通紧急用冷却水。
4、在高温(超过200℃即视为高温)时,如果冷却水停止了,如果不能紧急送水,水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。
二、压缩空气的停止
1、压缩空气异常报警时,设备处于停止状态,应尽快到备用的压缩机房,让其恢复工作。
2、真空中如压缩空气异常报警,且恢复需要较长时间时,则终止真空,让设备停下来。
三、停电
1、停电时,如果断水,应立即接通备用的冷却水,接通水源。
2、如果在非升温、加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,继续运转如需要较长时间,则将设备保持原状。
3、如果正在加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,如果需要较长时间时,则保持原状,让设备自然冷却下来。
四、加热电源掉电
1、水压低,当水压低于0.15MPa,压力表报警。
2、接地故障。
3、真空放电,水冷电极接头与加热器连接处需要连接牢固,与反射屏绝缘要好。
4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障,掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。
五、充气气体(氩气或氮气)停止
1、抽真空开始前,气体充入时间长或者无法充入时,请确认气体管路是否被堵塞。
2、如气体管路没问题,检查电磁阀及气体充气阀的动作,其相关联的设备要全部停止后再进行检查。
3、向真空室内充气不能停止的情况下,泄压阀动作如泄压阀动作时,要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。
4、确认气体充气配管是否有漏气的地方,如有会影响制品质量。
六、 真空室压力恶化
1、真空排气时间比通常长时,应把设备停下来进行检查,根据真空室内构造物不同状态下放气的影响,也有导致压力升高的情况。
2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。
在真空和保护性气氛中,对金属、陶瓷及一些难熔金属中间化合物粉末加热烧结,要获得定量的密度和具有机械性能的材料时,一般采用两种工艺;即有压烧结和无压烧结。有压烧结工艺是将粉状材料置于真空和保护性气氛中的高碳模具中,高温加热到软化状态时,加压成型。这种工艺需要一种真空热压烧结才能实现。该烧结炉具有温度高、真空度高、热压力高的特点。目前这种炉型在我国还未见定型产品。

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