一.产品介绍
真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体，炉内抽真空，被处理工件放置在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗（清洗气体：N2，H2）。主要用于有效清除MOCVD承受器（SiC涂层石墨盘或石英盘）上的氮化镓和氮化铝等，可达到有效清洁处理，提高制品质量的目的。
二、设计特点
1、后门设计热风电机
2、降温时风机开启，同时两端降温封头开启，炉膛内产生如图所示的气体流向
3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换，达到快速降温的目的
三、技术指标
|
使用温度
|
1450℃
|
最高温度
|
1500℃
|
|
绝热材料
|
石墨纤维毯、石墨纸
|
马弗材料
|
SUS304
|
|
加热元件
|
石墨加热棒
|
冷却方式
|
气冷+循环风冷降温
|
|
控温稳定度
|
±2℃，具有PID参数自整定功能
|
炉膛温度均匀度
|
±5℃（恒温1550℃）
|
|
控温热偶
|
Wre5
|
升温速率
|
15℃/min（空载）
|
|
控温点数
|
1点
|
降温速率
|
1450℃至80℃，240分钟
|
|
监测点数
|
1点
|
极限真空
|
10-3torr级
|
|
气氛
|
可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气，纯度≧99.999%
|
抽气速率
|
空载下，30min达到10-2torr
|
|
报警保护
|
超温、断偶、停气等声光报警保护
|
设备颜色
|
电脑驼灰色
|
|
电源
|
容量大于160KVA，3相5线，220/380VAC，50Hz
|
|
参考型号
|
MOLKP-518（W710×H710×D1000mm）
MOLKP-1000（W1000×H1000×D1000mm）
MOLKP-1200（W1000×H1000×D1200mm）
|
本文学由合肥真萍电子科技有限公司原创，转载时请注明热风排胶炉网址：http://www.ahzpkj.com/ |
